產品中心NEWS CENTER
在發展中求生存，不斷完善，以良好信譽和科學的管理促進企業迅速發展
首頁-產品中心-日本TOYOOKI豐興-TOYOOKI-日本豐興AD-SL231D-304B氣動角閥TOYOOKI
產品中心
PRODUCT CATEGORY
詳細介紹
日本豐興AD-SL231D-304B氣動角閥TOYOOKI
型號：AD-SL231D-304B
品牌：豐興（Toyoko Koki）
類型：氣動高真空角閥（Angle Valve）
定位：適用于超高真空（UHV）和腐蝕性環境，常見于半導體、鍍膜及科研設備。
超高真空兼容：
泄漏率 <1×10?? Pa·m3/s（金屬密封），滿足UHV標準（10?? Pa以下）。
耐腐蝕設計：
閥體材質為 SUS304不銹鋼（標準），可選SUS316L增強抗腐蝕性（如應對Cl?、HBr）。
快速響應：
氣動驅動，開關時間 ≤0.5秒，支持高頻操作（如半導體腔室隔離）。
緊湊輕量化：
結構優化，重量較傳統閥門減輕20%，適合高密度設備集成。
| 參數 | 規格 |
|---|---|
| 通徑（DN） | 50 mm（或根據型號定義） |
| 連接方式 | CF法蘭（ISO-K）、KF法蘭 |
| 壓力范圍 | 大氣壓 ~ 1×10?? Pa |
| 驅動方式 | 氣動（標準） / 可選電動 |
| 閥體材質 | SUS304不銹鋼（默認） |
| 密封材質 | 金屬（銅/鋁）或氟橡膠（FKM） |
| 溫度范圍 | -20°C ~ +150°C（氟橡膠密封） |
| 適用氣體 | 惰性氣體、腐蝕性氣體、高純度氣體 |
材質差異：
-304B：閥體為SUS304（通用型不銹鋼），成本較低。
-504B：閥體可能升級為SUS316L（更高耐腐蝕性），適合惡劣工藝環境。
密封選項：兩者均支持金屬/氟橡膠密封，但-504B可能默認配置更耐腐蝕的密封組合。
半導體制造：刻蝕設備腔室隔離、CVD氣體通路控制。
真空鍍膜：磁控濺射設備的真空系統閥門切換。
科研裝置：同步輻射光源、電子顯微鏡的真空隔離。
腐蝕性環境：若工藝涉及強腐蝕氣體（如等離子刻蝕），建議確認SUS304是否足夠，或升級至SUS316L版本。
驅動方式：氣動需潔凈壓縮空氣（無油、無水），電動需匹配PLC信號（如24VDC）。
法蘭兼容性：需與現有系統的法蘭標準（CF/KF）匹配，必要時提供接口圖紙。
豐興提供 3D模型下載（STEP/IGES格式）和定制化修改（如法蘭方向調整）。
渠道可獲取泄漏率測試報告和壽命驗證數據（通常>100萬次循環）。
日本豐興AD-SL231D-304B氣動角閥TOYOOKI
產品咨詢
產品咨詢
聯系我們
